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    新款顯示器Micro LED檢測設備,實現對亮度,發光波長和外觀缺陷的快速全檢
    發布時間:2021-03-10

    濱松公司利用其獨特的光學設計技術,采用新開發的成像模塊和圖像處理技術,結合光致發光(Photo Luminescence,以下稱PL)的測量方法(*),成功推出可對Micro LED晶圓上LED晶粒的亮度,發光波長和外觀等異常進行快速檢測的“MiNYTM PL Micro LED PL檢測設備C15740-01”。


    在新型顯示應用方面,Mirco LED正在不斷提升其良率,而本產品可在短時間內判斷Micro LED的合格與否,有助于提高研發效率,縮短研發周期。此外,在未來的量產線上,進行全檢的巨量檢測技術也有望成為可能。本產品將于3月8日(星期一)開始向日本和海外的LED廠家和顯示器制造商銷售。

    ※成像式PL測量方法:通過對光致發光信號進行成像,以非接觸,無損的方式對LED,第三代半導體等材料和器件的特性進行評估的方法。


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    MiNYTM PL Micro LED PL檢查設備 C15740-01


    <開發背景>

    邊長在100μm(以下簡稱μm,μ為百萬分之一)以下的LED被稱為Micro LED。與LCD和OLED等傳統顯示器相比,Micro LED具有更高的亮度,更低的功耗以及更長的使用壽命的特點,它作為新型顯示器,預計未來有著更大的市場。目前業界也正在為提高Micro LED良率不斷進行研發。


    傳統LED是通過可見光圖像對其外觀進行檢查,然后對晶片上的數萬顆LED逐一針測,并通過其實際發光情況,來檢查(EL檢測)發光特性。另一方面,由于在一片Micro LED晶圓上有數百萬顆LED晶粒,因此通過EL檢測進行全檢是不現實的。雖然使用光譜儀也可以檢查發光特性,但一次所能測量的范圍有限。因此,除了檢查Micro LED的外觀外,對能夠快速檢測亮度和發光波長異常的設備的需求也越來越大。


    <產品概述>

    本產品是利用光致發光和可見光的2種類型的圖像,對晶圓上Micro LED外觀,亮度和發光波長等異常進行快速檢測的設備。 將6寸Micro LED晶圓產品放入本系統,通過從可見光成像中獲取Micro LED的崩裂和劃痕等外觀信息。然后,結合PL成像中獲取的亮度和發光波長信息,一起分析判斷產品是否合格。


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    檢查結果示意圖


    此次,濱松公司采用獨特的光學設計技術所研發的光學器件,結合優化后的高性能相機,成功開發出了新的成像模塊。在不使用光譜儀的情況下,通過PL成像即可同時獲取整個晶圓上每一顆Micro LED的亮度和發光波長信息。由于PL圖像是來自于對Micro LED整體進行強度均勻穩定的激發照射,所獲得的測量結果非??煽?。通過與成像模塊所獲取外觀,亮度,發光波長等信息進行整合,以及濱松公司獨特的圖像處理,實現對Micro LED的異常進行快速檢測。


    本產品通過對Micro LED的亮度,發光波長和外觀等異常的快速檢測,判斷產品合格與否,有助于加快以改善良率為目標的研發工作。此外,在今后的量產線上,使進行全檢的巨量檢測技術成為可能。


    濱松公司將繼續開發更高速的Micro LED檢測設備,并與韓國,中國大陸和中國臺灣的當地子公司合作,爭取以亞洲為主的設備訂單。


    <產品的主要特性>


    1. 1.同時,快速檢測亮度,發光波長等異常 使用PL測量方法,除了Micro LED的外觀異常外,還可以同時對亮度和發光波長等異常進行快速檢測。

    2. 2.實現電致發光(EL)檢測不能達到的全檢工作 由于用EL對Micro LED進行全檢需要非常多的時間,在實際中是不現實的。而本產品可以實現亮度,發光波長和外觀等異常的快速檢查,可期待Micro LED的高效全檢成為現實。

    3. 3.在量產線中進行全檢,以提高良率 通過在產線中對Micro LED進行全檢,并根據檢查結果改進設計和生產過程,有望提高良率。


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